장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
Photo공정-스핀코터&핫플레이트 (Spin Coater & Hot Plate)
모델명
MS-103-G200
제작사(국가)
㈜오에프티(대한민국)
제작년도
2012
용도
생산
분류
기계가공
취득일
2012.06.15
장비설명
Spin Coater는 Photolithography 공정 중 감광액(Photoresist), 또는 기타 용액을 기판에 도포한 후 회전시키는 코팅장비로 사용
Hot Plate는 평판 가열시스템으로 감광막의 Soft/Hard Baking, 또는 기타 박막의 열처리 공정장비
장비구성

성능
Spin Coater
Substrate size 200ⅹ200 mm2 기판 전용
제어방식 : Touch Panel PC 제어 (기판 회전시간 및 회전 RPM, 감광제 토출량 등)
회전속도 : Max. 3,000 RPM (Multi Step 회전조건 설정 가능)
Hot Plate
개수: 3 set (Max. 350 °C), 열처리 영역: 10” Size
Soft & Hard Baking 공정용으로 In/Out 영역의 온도설정을 통한 Controller 동작제어
NTIS NO
NFEC-2013-01-173715
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
강원 철원군 서면 금강로 7194
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
COPYRIGHT (C) 2020 BY CPRI QDCSC K Quantum. ALL RIGHTS RESERVED.

logo

cpri kquantum cpri kquantum

TOP